４．薄型 ThinMEA
ThinMEAは電極部のガラスプレートの厚みが僅か180μmで、高解像度イメージングとの同時使用に最適です。
堅牢なセラミック製のベースの中心に厚み180μmのデリケートなガラスプレート部があり、その上に電極を配置しています。
スタンダードタイプのMEAと同じように、60個の電極が8×8のレイアウトで配置されていて、電極直径は10μm or
30μm、電極間隔は100μmか200μmです。
電極はTiN（チタンナイトライド）製の平板タイプです。
電極リード＆コンタクトパッドは透明のITO製です。
絶縁材はSiN（シリコンナイトライド）です。
高解像度な2×（5×6）配列のレイアウトもご用意できます（電極間隔30μm）。
●PDFレイアウトのダウンロード/8x8（32KB）
●PDFレイアウトのダウンロード/高解像度（32KB）
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